Máy đo độ dày và mật độ diện tích tích hợp CDM

Ứng dụng

Quy trình phủ: phát hiện trực tuyến các đặc điểm nhỏ của điện cực; các đặc điểm nhỏ thường gặp của điện cực: thiếu điện (không rò rỉ bộ thu dòng điện, độ xám khác biệt nhỏ so với vùng phủ bình thường, không nhận dạng được CCD), trầy xước, đường viền độ dày của vùng mỏng, phát hiện độ dày AT9, v.v.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Nguyên tắc đo lường

Nguyên lý đo mật độ bề mặt

Phương pháp hấp thụ tia X/β

Nguyên lý đo độ dày

Tương quan & tam giác hóa laser

Đặc điểm thử nghiệm kỹ thuật CDM

Tình huống 1: Bề mặt điện cực có một khoảng trống/thiếu hụt rộng 2 mm và một cạnh dày hơn (đường màu xanh lam như hình dưới). Khi điểm tia là 40 mm, ảnh hưởng của hình dạng dữ liệu gốc được đo (đường màu cam như hình dưới) trông rõ ràng nhỏ hơn.

Tình huống 2: dữ liệu hồ sơ của vùng làm mỏng động có chiều rộng dữ liệu 0,1mm

Tính năng phần mềm

Thông số kỹ thuật

Tên	Chỉ số
Tốc độ quét	0-18m/phút
Tần suất lấy mẫu	Mật độ bề mặt: 200 kHz; độ dày: 50 kHz
Phạm vi đo mật độ bề mặt	Mật độ bề mặt: 10~1000 g/m²; độ dày: 0~3000 μm;
Lặp lại phép đo sự chính xác	Mật độ bề mặt: Tích phân 16s: ±2σ: ≤±giá trị thực * 0,2‰ hoặc ±0,06g/m²; ±3σ:≤±giá trị thực * 0,25‰ hoặc +0,08g/m²; Tích phân 4s: ±2σ: ≤±giá trị thực * 0,4‰ hoặc ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±giá trị thực * 0,6‰ hoặc ±0,18g/m²;Độ dày: Vùng 10 mm: ±3σ: ≤±0,3μm; Vùng 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Vùng 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Hệ số tương quan R2	Mật độ bề mặt >99%; độ dày >98%;
Điểm laser	25*1400μm
Lớp bảo vệ bức xạ	Tiêu chuẩn an toàn quốc gia GB 18871-2002 (miễn trừ bức xạ)
Tuổi thọ của chất phóng xạ nguồn	Tia β: 10,7 năm (thời gian bán hủy Kr85); Tia X: > 5 năm
Thời gian phản hồi của phép đo	Mật độ bề mặt < 1ms; độ dày < 0,1ms;
Tổng công suất	<3kW