Máy đo mật độ diện tích tia X siêu nhỏ
Nguyên tắc đo lường
Khi tia chiếu vào điện cực, tia sẽ bị điện cực hấp thụ, phản xạ và tán xạ, dẫn đến cường độ tia sau điện cực truyền qua bị suy giảm nhất định so với cường độ tia tới, và tỷ lệ suy giảm này là hàm mũ âm với trọng lượng hoặc mật độ diện tích của điện cực.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0 : Cường độ tia ban đầu
I : Cường độ tia sau khi truyền điện cực
λ : Hệ số hấp thụ của vật thể được đo
m : Độ dày/mật độ diện tích của vật thể được đo
Điểm nổi bật của thiết bị
So sánh phép đo cảm biến bán dẫn và cảm biến laser
● Đo đường viền chi tiết và các đặc điểm: đo đường viền mật độ diện tích độ phân giải không gian milimét với tốc độ cao và độ chính xác cao (60 m/phút)
● Đo chiều rộng cực lớn: có thể áp dụng cho lớp phủ có chiều rộng hơn 1600 mm.
● Quét tốc độ cực cao: tốc độ quét có thể điều chỉnh từ 0-60 m/phút.
● Máy dò tia bán dẫn cải tiến để đo điện cực: phản ứng nhanh hơn 10 lần so với các giải pháp truyền thống.
● Được điều khiển bởi động cơ tuyến tính với tốc độ cao và độ chính xác cao: tốc độ quét tăng gấp 3-4 lần so với các giải pháp truyền thống.
● Mạch đo tốc độ cao tự phát triển: tần số lấy mẫu lên tới 200kHZ, cải thiện hiệu quả và độ chính xác của lớp phủ vòng kín.
● Tính toán tổn thất công suất làm mỏng: chiều rộng điểm có thể nhỏ tới 1 mm. Máy có thể đo chính xác các chi tiết như đường viền của vùng làm mỏng cạnh và các vết xước trên lớp phủ điện cực.
Giao diện phần mềm
Hiển thị tùy chỉnh giao diện chính của hệ thống đo lường
● Xác định diện tích làm mỏng
● Xác định năng lực
● Xác định vết xước
Thông số kỹ thuật
| Mục | Tham số |
| Bảo vệ bức xạ | Liều bức xạ cách bề mặt thiết bị 100mm nhỏ hơn 1μsv/h |
| Tốc độ quét | Có thể điều chỉnh 0-60m/phút |
| Tần suất lấy mẫu | 200k Hz |
| Thời gian phản hồi | ＜0,1ms |
| Phạm vi đo | 10-1000 g/㎡ |
| Chiều rộng điểm | 1mm、3mm、6mm tùy chọn |
| Độ chính xác đo lường | P/T≤10%Tích phân trong 16 giây：±2σ：≤±giá trị thực×0,2‰ hoặc ±0,06g/㎡; ±3σ：≤±giá trị thực×0,25‰ hoặc ±0,08g/㎡;Tích phân trong 4 giây: ±2σ: ≤±giá trị thực×0,4‰ hoặc ±0,12g/㎡; ±3σ: ≤±giá trị thực× 0,6‰ hoặc ±0,18g/㎡; |
